SEM测试成像

金鉴实验室拥有先进的测试设备和专业的技术团队，能够确保测试的准确性和可靠性。金鉴实验室的团队由国家级人才工程入选者和行业资深管理和技术专家组成，他们在扫描电子显微镜（SEM）测试有着丰富的工作经验。在进行扫描电子显微镜（SEM）测试时，金鉴在与许多同行沟通中了解到，许多人对SEM测试了解有限。因此，整理了网上大量的知识，希望能够帮助到科研领域的同行们。

低电压成像

扫描电子显微镜通常在10千伏至30千伏的加速电压下运行，可获得高质量的图像；同时，微区成分分析也能提供可靠的定性和定量结果。然而，对于某些热敏或导电性能较差的样品，如半导体器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等，在某些情况下不适宜进行导电处理，而需要直接观察。因此，可以采用低电压成像技术，选择1千伏至5千伏甚至更低的加速电压进行成像。

优点

1、增强样品表面形貌和成分衬度

选择较低的加速电压意味着使用能量较低的电子束，使得入射样品后的散射区域更为局部，相互作用区域靠近表面，有利于表面形貌成像。在常规加速电压下观察半导体或绝缘体时，通常需要对样品进行导电膜镀覆，这样形貌成像是唯一的成像方式，因为膜层会完全掩盖样品不同元素的出射电子产率变化，导致无法观察到样品的成分衬度。而使用低能电子束成像时，无需进行膜层处理，可以直接观察样品的形貌和成分衬度，充分展现材料的真实特征。

2、减少或消除样品的核电效应

3、减小电子束辐射损伤

缺点

空间电荷效应、光学系统像差以及杂散磁场的影响会导致图像分辨率降低，影响图像质量。对于某些非导电材料，选择合适的低加速电压值尤为重要。

低真空成像

针对一些导电性较差的材料，如半导体、集成电路、印制板、电脑零件、纸张、纤维，以及含水的动植物样品，若需要直接观察其微观形貌，传统的高真空（High Vacuum，HV）成像方式存在一定局限性，建议采用可变压力模式（Variable Pressure，VP）或扩展压力模式（Extended Pressure，EP）成像技术。

在VP或EP模式下，可以直接观察非导电材料或动植物样品。由于样品室内的真空度较低，仍然存在大量气体分子，入射电子和信号电子会导致附近气体分子（如氧气、氮气）离子化，这些离子在附加电场的作用下会朝向样品移动，中和表面积累的电荷，从而消除电荷现象。在这种情况下，即使选择较高的加速电压，仪器仍能正常运作。此外，样品制备简单，适合观察放气样品，并且适合直接对非导电样品进行成分检测。返回搜狐，查看更多

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